熱烈祝賀山東艾諾儀器有限公司無塵間凈化項目順利開工

發(fā)布時間：2017-06-26

潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區(qū)域。

空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。

氣閘室 air lock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。

傳遞窗 pass box
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗扇。

潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。

潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。

靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員。

 動態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。

檢漏試驗 leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗。

高效空氣過濾器 HEPA（high efficiency particulate airfilter）
在額定風(fēng)量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

超高效空氣過濾器 ULPA（ultra low penetration airfilter）
在額定風(fēng)量下，對粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。

純水 purity water
對電解質(zhì)雜質(zhì)含量（常以電阻率表征）和非電解質(zhì)雜質(zhì)（如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等）含量均有要求的水。

防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。